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    第三代半导体碳化硅衬底关键技术研发及产业化项目竣工环境保护验收监测报告表

    发布者：alan    发布时间：2024-10-24      浏览次数：0

    第三代半导体碳化硅衬底关键技术研发及产业化项目竣工环境保护验收监测报告表

    江苏超芯星半导体有限公司租赁江北新区集成电路产业化基地B区5号楼A座已建厂房，利用碳化硅单晶制备、切割、研磨、抛光及晶体、晶片检测仪等设备，建设碳化硅晶体生长及加工生产线，项目建成后形成年产碳化硅衬底3万片的生产能力和规模。该项目于2024年5月28日取得《关于第三代半导体碳化硅衬底关键技术研发及产业化环境影响报告表的批复》（宁新区管审环表复〔2024〕42号）。项目于2024年5月开始生产车间施工装修、设备安装与调试。2024年7月工程竣工，并开始试生产。目前工程能够稳定运营。

    根据相关规定主动公开建设项目竣工环境保护验收监测报告表全本。公示内容：竣工环境保护验收监测报告表、验收意见。自公示发布日起，20个工作日止。

    公示附件：第三代半导体碳化硅衬底关键技术研发及产业化项目竣工环境保护验收监测报告表、超芯星竣工环境保护自主验收意见 提取码: 5h9n
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